高純氣體管道設(shè)計要點(diǎn)：

gāo高  chún純  tiān天  rán然  qì氣  guǎn管  dào道  shè設(shè)  jì計  yào要  diǎn點(diǎn)  ：  

（1）對不同性質(zhì)的天然氣，要規(guī)劃一個獨(dú)立的供氣區(qū)，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/有毒性氣體、可燃性氣體、惰性氣體區(qū)域，將同一天然氣濃度加強(qiáng)管理和可燃?xì)怏w區(qū)，以專門規(guī)劃爆破墻和滲漏，如果空間不足，可以考慮。放置惰性氣體和有毒腐蝕性氣體區(qū)域。

（  1  ）  duì對  bù不  tóng同  xìng性  zhì質(zhì)  de的  tiān天  rán然  qì氣  ，  yào要  guī規(guī)  huà劃  yī一  gè個  dú獨(dú)  lì立  de的  gōng供  qì氣  qū區(qū)  ，  yī一  bān般  fēn分  wéi為  sān三  gè個  qū區(qū)  ：  fǔ腐  shí蝕  xìng性  /  yǒu有  dú毒  xìng性  qì氣  tǐ體  、  kě可  rán燃  xìng性  qì氣  tǐ體  、  duò惰  xìng性  qì氣  tǐ體  qū區(qū)  yù域  ，  jiāng將  tóng同  yī一  tiān天  rán然  qì氣  nóng濃  dù度  jiā加  qiáng強(qiáng)  guǎn管  lǐ理  hé和  kě可  rán燃  qì氣  tǐ體  qū區(qū)  ，  yǐ以  zhuān專  mén門  guī規(guī)  huà劃  bào爆  pò破  qiáng墻  hé和  shèn滲  lòu漏  ，  rú如  guǒ果  kōng空  jiān間  bù不  zú足  ，  kě可  yǐ以  kǎo考  lǜ慮  。  fàng放  zhì置  duò惰  xìng性  qì氣  tǐ體  hé和  yǒu有  dú毒  fǔ腐  shí蝕  xìng性  qì氣  tǐ體  qū區(qū)  yù域  。  

（2）管道設(shè)計需要考慮運(yùn)輸距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險越大，通常設(shè)計流量越合理，20 mL/s，可燃?xì)怏w小于10 mL/s，有毒/腐蝕性氣體小于8 mL/s，在使用中設(shè)計該方面，需要考慮使用對等壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者管徑通常指向使用的1/4“~3/8”。

（  2  ）  guǎn管  dào道  shè設(shè)  jì計  xū需  yào要  kǎo考  lǜ慮  yùn運(yùn)  shū輸  jù距  lí離  ，  jù距  lí離  yuè越  cháng長  ，  chéng成  běn本  yuè越  gāo高  ，  fēng風(fēng)  xiǎn險  yuè越  dà大  ，  tōng通  cháng常  shè設(shè)  jì計  liú流  liàng量  yuè越  hé合  lǐ理  ，  2  0  m  L  /  s  ，  kě可  rán燃  qì氣  tǐ體  xiǎo小  yú于  1  0  m  L  /  s  ，  yǒu有  dú毒  /  fǔ腐  shí蝕  xìng性  qì氣  tǐ體  xiǎo小  yú于  8  m  L  /  s  ，  zài在  shǐ使  yòng用  zhōng中  shè設(shè)  jì計  gāi該  fāng方  miàn面  ，  xū需  yào要  kǎo考  lǜ慮  shǐ使  yòng用  duì對  děng等  yā壓  lì力  hé和  guǎn管  jìng徑  dà大  xiǎo小  ，  qián前  zhě者  yǔ與  qì氣  tǐ體  tè特  xìng性  yǒu有  guān關(guān)  ，  hòu后  zhě者  guǎn管  jìng徑  tōng通  cháng常  zhǐ指  xiàng向  shǐ使  yòng用  de的  1  /  4  “  ~  3  /  8  ”  。  

（3） 根據(jù)燃?xì)庠O(shè)備的分布情況，高純?nèi)細(xì)夤芫W(wǎng)不宜過大或過長，宜采用不封閉的環(huán)狀管道，在系統(tǒng)末端連續(xù)排放少量燃?xì)猓?/span>使管網(wǎng)中始終有高純度氣體循環(huán)，不會因“死區(qū)”而造成高純度氣體污染。

（  3  ）  gēn根  jù據(jù)  rán燃  qì氣  shè設(shè)  bèi備  de的  fēn分  bù布  qíng情  kuàng況  ，  gāo高  chún純  rán燃  qì氣  guǎn管  wǎng網(wǎng)  bù不  yí宜  guò過  dà大  huò或  guò過  cháng長  ，  yí宜  cǎi采  yòng用  bù不  fēng封  bì閉  de的  huán環(huán)  zhuàng狀  guǎn管  dào道  ，  zài在  xì系  tǒng統(tǒng)  mò末  duān端  lián連  xù續(xù)  pái排  fàng放  shǎo少  liàng量  rán燃  qì氣  ，  shǐ使  guǎn管  wǎng網(wǎng)  zhōng中  shǐ始  zhōng終  yǒu有  gāo高  chún純  dù度  qì氣  tǐ體  xún循  huán環(huán)  ，  bù不  huì會  yīn因  “  sǐ死  qū區(qū)  ”  ér而  zào造  chéng成  gāo高  chún純  dù度  qì氣  tǐ體  wū污  rǎn染  。  

（4） 應(yīng)減少不流動氣體在管道中的“死區(qū)”，且不應(yīng)是盲管，在專用儲氣罐和氣體設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃閥控制裝置和控制裝置，用于控制吹掃閥的開關(guān)順序和系統(tǒng)，以保證供氣系統(tǒng)的安全，可靠運(yùn)行，防止“死區(qū)”滯留污染物形成，降低氣體純度。

（  4  ）  yīng應(yīng)  jiǎn減  shǎo少  bù不  liú流  dòng動  qì氣  tǐ體  zài在  guǎn管  dào道  zhōng中  de的  “  sǐ死  qū區(qū)  ”  ，  qiě且  bù不  yīng應(yīng)  shì是  máng盲  guǎn管  ，  zài在  zhuān專  yòng用  chǔ儲  qì氣  guàn罐  hé和  qì氣  tǐ體  shè設(shè)  bèi備  zhī之  jiān間  yīng應(yīng)  shè設(shè)  zhì置  chuī吹  sǎo掃  fá閥  kòng控  zhì制  zhuāng裝  zhì置  hé和  kòng控  zhì制  zhuāng裝  zhì置  ，  yòng用  yú于  kòng控  zhì制  chuī吹  sǎo掃  fá閥  de的  kāi開  guān關(guān)  shùn順  xù序  hé和  xì系  tǒng統(tǒng)  ，  yǐ以  bǎo保  zhèng證  gōng供  qì氣  xì系  tǒng統(tǒng)  de的  ān安  quán全  ，  kě可  kào靠  yùn運(yùn)  xíng行  ，  fáng防  zhǐ止  “  sǐ死  qū區(qū)  ”  zhì滯  liú留  wū污  rǎn染  wù物  xíng形  chéng成  ，  jiàng降  dī低  qì氣  tǐ體  chún純  dù度  。  

（5） 對于高純氣體純度要求不同的氣體設(shè)備，宜采用分級高純氣體輸送系統(tǒng)，也可采用同一級輸送系統(tǒng)，但在高純氣體設(shè)備附近設(shè)置終端氣體凈化裝置。

（  5  ）  duì對  yú于  gāo高  chún純  qì氣  tǐ體  chún純  dù度  yāo要  qiú求  bù不  tóng同  de的  qì氣  tǐ體  shè設(shè)  bèi備  ，  yí宜  cǎi采  yòng用  fēn分  jí級  gāo高  chún純  qì氣  tǐ體  shū輸  sòng送  xì系  tǒng統(tǒng)  ，  yě也  kě可  cǎi采  yòng用  tóng同  yī一  jí級  shū輸  sòng送  xì系  tǒng統(tǒng)  ，  dàn但  zài在  gāo高  chún純  qì氣  tǐ體  shè設(shè)  bèi備  fù附  jìn近  shè設(shè)  zhì置  zhōng終  duān端  qì氣  tǐ體  jìng凈  huà化  zhuāng裝  zhì置  。  

（6） 為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除應(yīng)配備必要的連續(xù)檢測儀器外，如水或氧雜質(zhì)含量測定儀等，還應(yīng)設(shè)置定期采樣的檢測取樣口，以便在規(guī)定的時間取樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

（  6  ）  wèi為  le了  jiǎn檢  cè測  gāo高  chún純  qì氣  tǐ體  de的  chún純  dù度  hé和  zá雜  zhì質(zhì)  hán含  liàng量  ，  shū輸  sòng送  xì系  tǒng統(tǒng)  chú除  yīng應(yīng)  pèi配  bèi備  bì必  yào要  de的  lián連  xù續(xù)  jiǎn檢  cè測  yí儀  qì器  wài外  ，  rú如  shuǐ水  huò或  yǎng氧  zá雜  zhì質(zhì)  hán含  liàng量  cè測  dìng定  yí儀  děng等  ，  hái還  yīng應(yīng)  shè設(shè)  zhì置  dìng定  qī期  cǎi采  yàng樣  de的  jiǎn檢  cè測  qǔ取  yàng樣  kǒu口  ，  yǐ以  biàn便  zài在  guī規(guī)  dìng定  de的  shí時  jiān間  qǔ取  yàng樣  ，  fēn分  xī析  gāo高  chún純  qì氣  tǐ體  zhōng中  gè各  zhǒng種  zá雜  zhì質(zhì)  de的  hán含  liàng量  。  

（7） 在亞微米級集成電路生產(chǎn)中，要求提供10-9級高純氣體。為了保證末端氣體處理設(shè)備的氣體純度，應(yīng)提高氣體中的雜質(zhì)含量

（  7  ）  zài在  yà亞  wēi微  mǐ米  jí級  jí集  chéng成  diàn電  lù路  shēng生  chǎn產(chǎn)  zhōng中  ，  yāo要  qiú求  tí提  gōng供  1  0  -  9  jí級  gāo高  chún純  qì氣  tǐ體  。  wèi為  le了  bǎo保  zhèng證  mò末  duān端  qì氣  tǐ體  chǔ處  lǐ理  shè設(shè)  bèi備  de的  qì氣  tǐ體  chún純  dù度  ，  yīng應(yīng)  tí提  gāo高  qì氣  tǐ體  zhōng中  de的  zá雜  zhì質(zhì)  hán含  liàng量  

（包括塵粒）控制在規(guī)定值內(nèi)，通常在裝置前設(shè)置終端凈化裝置或終端高精度氣體過濾器