有什么高純氣體管路設(shè)計(jì)的要點(diǎn)

1、對(duì)于不同性質(zhì)的氣體，應(yīng)分別規(guī)劃供應(yīng)區(qū)域，通常分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，對(duì)同一性質(zhì)的氣體進(jìn)行集中強(qiáng)化管理，而對(duì)于可燃性氣體區(qū)，應(yīng)特別規(guī)劃防爆墻和泄漏口，如果空間不足，可考慮將惰性氣體放置在有毒/腐蝕性氣體區(qū)。

2、管道設(shè)計(jì)要考慮到輸送距離，距離越遠(yuǎn)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)越大，通常比較合理的設(shè)計(jì)流速是20ml/S，易燃?xì)怏w小于10ml/S，有毒氣體/腐蝕性氣體小于8ml/S，而在用量設(shè)計(jì)中，則要考慮到使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，而后者一般是1/4'~3/8'。

3、根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體管網(wǎng)不宜過(guò)大或過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管道，在系統(tǒng)末端連續(xù)地排出少量的氣體，使高純氣體總能流通在管網(wǎng)中，而不會(huì)出現(xiàn)"死空間"造成高純氣體污染。

4、管道中應(yīng)減少非流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)置盲管，在特殊氣體儲(chǔ)存瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃控制裝置、多閥控制裝置、對(duì)各閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除控制，以保證供氣系統(tǒng)安 全可靠運(yùn)行，防止“死區(qū)域”形成后污染物滯留，降低氣體純度。

5、對(duì)于高純氣體純度要求不同的用氣機(jī)，宜采用分級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但在純度要求高的用氣機(jī)附近設(shè)置末端氣體凈化裝置。

6、為檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如測(cè)定水或氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)高純氣體中的各種雜質(zhì)進(jìn)行采樣分析。

7、亞微米級(jí)集成電路生產(chǎn)需要提供10-9級(jí)的高純氣體，以確保尾端氣體在氣體處理設(shè)備上的純度，保證尾端氣體中的雜質(zhì)含量。