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了解下高純氣體的純度
一、對于不同性質(zhì)的氣體，應(yīng)分別設(shè)置供應(yīng)區(qū)域。一般而言，可分為三個區(qū)域：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、易燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，以同一性質(zhì)的氣體集中加強管理，在易燃性氣體區(qū)特別設(shè)計防爆墻和漏口，如空間不足，可考慮將惰性氣體置于有毒/腐蝕性氣體區(qū)。
二、對于高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但在純度要求高的用氣設(shè)備附近，應(yīng)設(shè)置末端氣體凈化裝置。
三、根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體管網(wǎng)不宜過大或過長；宜采用不封閉的環(huán)形管道，在系統(tǒng)末端連續(xù)地排出少量的氣體，使管道內(nèi)總有高純氣體流動，以免產(chǎn)生“死空間”而污染高純氣體。
四、管道應(yīng)減少非流動氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)置盲管，在特殊氣體儲存瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃控制裝置、多閥控制裝置、用于控制各閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)安 全可靠地運行，防止“死區(qū)域”形成后污染物滯留，降低氣體純度。
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